HOME >> 産業用光源 >> 露光器 紫外線露光タイプ  露光器　UVEシリーズ カタログ (約4.1MB) 紫外線露光タイプ 特徴 ハイパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計。 高安定・長寿命・オゾンレスランプの使用。 用途に応じた照射波長域の選択が可能。 自動化ラインに対応する豊富なリモート機能。 万全なノイズ防止対策。 ９０°ごとに照射ヘッドが可変可能。目的・用途に合わせて 照射角度が変えられます。 ランプアークモニター搭載にてランプ交換時に簡易的に光軸の 調整が行えます。 用途 ●UV 接着用途 　　  液晶ガラスの張り合わせ封止等 　　  CD、DVDドライブの光ピックアップレンズや電子製品の接着 ●フォトレジスト用途 　　  各種マイクロデバイス（トランジスタ、水晶振動子、リードフレーム 　　  その他：　シリコンウェハー用露光光源、 各種光学実験用 超高圧水銀ランプ２５０Ｗ〜２０００Ｗまで高性能インテグレーターを使用し、コリメーターレンズを通してワーク面にUV光を均一照射させることができます。多種の照射径ユニットを取り揃えております。また各種フィルター等もご要望によりご提案致します。用途として、半導体ウェハ、水晶発振子等の電子部品の露光、マスクアライナー用光源、各種光学、露光実験装置として幅広く利用して頂いております。 ※ 大出力（２ｋｗ以上）、大面積（３００�oΦ以上）は、高性能インテグレーターレンズと高精度コリメーションミラーの組み合わせで均一照射を再現いたします。ご相談ください。 照射波長について（超高圧水銀ランプ使用の場合） 露光光源光学構造図 超高圧水銀ランプ 楕円集光ミラー 平面反射ミラー１ インテグレーターレンズ 平面反射ミラー２ コリメーターレンズ �@超高圧水銀ランプから放射される可視光が�A楕円集光ミラーで集光され、�B平面反射ミラー１で、水平方向に照射方向を変えて、�Cインテグレーターレンズに入射します。�Cインテグレーターレンズで照度分布が均一化され、�D平面反射ミラー２で垂直方向に照射方向を変えて�Eのコリメーターレンズに入射します。 　照度分布が均一化された紫外光は �Eのコリメーターレンズで平行化されて照射面に平行・均一照射光として入射します。 UV強度について 使用測定器 UVP-365JW　   　 測定波長 365nm        単位mW/cm² 光源ユニット UVE-251S UVE-502S UVE-1001S UVE-2001S 照射距離 UV強度 UV強度 UV強度 UV強度 EL-100※1 200 25 60 110 180 EL-125 200 15 40 70 110 EL-160 300 10 25 40 70 EL-200 350 8 20 30 50 EL-220 350 6 15 25 40 EL-240 350 - 10 18 35 EL-270 350 - 8 15 25 ※1.各照射ユニットの有効照射径を表しています。 光源ユニットの外観寸法図 下記のカタログ　PDFに記載しております。こちらの方でご確認ください。  露光器　UVEシリーズ カタログ (約4.1MB) 電源ユニット外観寸法図・仕様 シャッター機能 ・手動及びタイマー制御（0.1S-9990Hr） 光量調節機能 ・ランプ電力可変による(70-100％) ・ランプ入力電力表示機能付 ランプ点灯時間表示機能 ・ランプ点灯累積時間表示（寿命超過表示付） 外部リモート機能 ・電源入力信号、ランプ点灯入力信号 ・シャッタータイマースタート入力信号 ・シャッターマニュアル開放入力信号 外部モニター機能 ・シャッター開確認出力信号、シャッター閉確認出力信号 ・ランプ点灯中確認出力信号、ランプ安定点灯中確認出力信号 ・過熱アラーム･インターロックアラーム出力信号 ・ランプ寿命超過アラーム出力信号  露光器　UVEシリーズ カタログ (約4.1MB) Copyright (C) SAN-EI ELECTRIC CO.,LTD.