HOME >> 産業用光源 >> 露光器 紫外線露光タイプ UVフォトエッチングタイプ 特徴 当社の高均一・平行光照射装置は、ランプから出力するUV光を効率よく利用し、従来にない照射面でのUV強度を得られる独自開発の光学系 ”高効率ツインミラーユニット”を全機種に採用し、さらに各種の光学ユニットの組み合わせにより汎用タイプから高精度タイプまで取り揃えております。 TCC型 ・・・・ 高効率ツインミラーユニットと独自に開発した光学ユニット ”コンデンサレンズ・コリメーションミラーユニット” を組合せることにより高平行度とUV強度均一性が得られます。 TCP型 ・・・・ 高効率ツインミラーユニットとコンデンサレンズ・平面ミラーユニットを組合せた汎用タイプです。用途として、簡易ソーラシミュレータや太陽電池などの性能試験、耐光試験機等に最適です。 TIC型 ・・・・ 高効率ツインミラーユニットと平行度 ±3°（両角）UV強度均一性 ±5%が得られるインテグレータレンズユニットとコリメーションミラーユニットを採用したタイプです。 （TCC型・TCP型は、当社オリジナル商品です。） 仕様 ユニット形式 TCC型 TCP型 TIC型 平行度 両角±5° 両角±12° 両角±3° 照度均一性 *1 ±10% ±15% ±5% 照射エリア 500mm 照 射 強 度 *2 UEP-20 （2000Wランプ使用） 約 20mw/cm² 約 18mw/cm² 約 18mw/cm² UEP-35 （3500Wランプ使用） 約 35mw/cm² 約 28mw/cm² 約 28mw/cm² UEP-50 （5000Wランプ使用） 約 45mw/cm² 約 38mw/cm² 約 38mw/cm² 高効率ツインミラー ○ ○ ○ コンデンサレンズ ○ ○ − インテグレータレンズ − − ○ コリメーションミラー ○ − ○ 平面ミラー − ○ − *1 照射エリア500においての分布率です。 *2 波長365nmにおける初期の値です。 UV樹脂コーティングタイプ 装着形式 EP-2000 EP-3500 EP-5000 使用ランプ L20001L L35001L L50001L ランプ定格 2000W 3500W 5000W 平均寿命 *3 500時間 400時間 600時間 ランプ電圧 DC37V DC62V DC60V ランプ電流 DC54A DC56A DC83A 適用点灯電源 HB-2000 HB-3500 HB-5000 定格電源入力 AC200V50/50Hz AC200V50/50Hz AC200V50/50Hz 消費電力 2500W 4000W 5500W 光源外観寸法 1620(W)×1440(H)×700(D) mm 重量 約800kg Copyright (C) SAN-EI ELECTRIC CO.,LTD.