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UVキュアリングシステム (紫外線硬化)


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UV-キュアリング 照射装置一覧表
機種名 UVF-204S UVF-205S UVF-210S UVF-352S UVF-502S
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タイプ 超小型・軽量 インテリジェント 2ヵ所交互照射 超ハイパワー 多分岐・露光対応
光学系 A型 B型 A型 B型 B型
照射波長 Aタイプ(365nm標準)
Bタイプ(254nm増強)
Cタイプ(3波長複合)
照射ユニット ライトガイドユニット
集光レンズ
直射レンズユニット
均一露光ユニット
オプション 熱線カットフィルター
スペアーランプ
波長選択フィルター
○印は装着可能、−印は装着不可



UV強度モニター
機種名 UVM-SP UVM-SP-J UVM-SP-JW UVM-MP
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タイプ シングルポイント シングルポイント mW/cm²・mJ/cm²測定 マルチポイント
測定表示 UV強度 UV積算光量 UV強度/積算光量 UV強度
測定単位 mW/cm² mJ/cm² mW/cu⇔mJ/cm² mW/cm²
測定範囲 0〜1990 0〜1990 0〜9990 0〜1990
標準測定波長 365または254nm
最大測定
ポイント
1ポイント 1ポイント 1ポイント 6ポイント
測定精度 ±(5%rdg+1dgt)
通信機能 RS-232C方式 BCD入出力信号 BCD入出力信号 RS-232C方式
センサーヘッド 専用石英センサーファイバー使用(SLG-1001)
センサーアンプ
ボックス
UVM-SB254、365 UVM-SB254、365 UVM-SB254JW、365JW UVM-SB254、365
電源入力 AC100V 50/60Hz 15W AC100V 50/60Hz 25W AC100V 50/60Hz 20W
オプション 各種バンドパスフィルター(220〜1000nmまで製作可能)
受光レセプタクル(SRV型、SRH型、SRC型、SR90型))


その他
品名 センサーアンプボックス 石英センサーファイバーヘッド UVパワーメーター
機種 UVM-SB SLG-1001 UVP-365
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微細な部品のUV接着に使用したいのですが、可能でしょうか?
弊社のUVFシリーズで多岐にわたるファイバーと各種レンズで対応可能です。ご相談ください。


実験用サンプルに特定波長域の光を均一に与えたいのですが、可能でしょうか?
UVFシリーズ(微小径、高エネルギー)、
UVEシリーズ(80〜300oΦ、均一照射光)に特定波長
透過フィルター(Band Pass Filter)の組み合わせにて可能です。
お客様の必要UVエネルギー(mj/cu)と照射径により、ランプの出力を弊社で選定致します。


複数台のUV装置の紫外線エネルギーを監視、管理したいのですが・・・・
UVMシリーズUVM−MPにて対応可です。
1台で最大UV装置6台の紫外線強度(mW/cu)を監視、モニタリング致します。
また、中継アンプボックス(UVM−SB)を取り付けることにより測定器とUV装置の距離を
最大10mまで離して操作することができます。


シリコンウエハなどの微細加工の露光装置は対応できますか?
各メーカーのマスクアライナー装置用光源としても実績がございます。(UVEシリーズ)アライナー
装置メーカーとタイアップして装置一式のご提案も致します。最近のナノインプリントリソグラフィの
光インプリントにも対応しています。ご相談ください。





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