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UVキュアリングシステム(紫外線硬化装置・UV硬化装置) 照射装置一覧表 |
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UV強度モニター (生産終了終了致しました) |
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機種名 |
UVM-SP |
UVM-SP-J |
UVM-SP-JW |
UVM-MP |
PHOTO |
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タイプ |
シングルポイント |
シングルポイント |
mW/cm²・mJ/cm²測定 |
マルチポイント |
測定表示 |
UV強度 |
UV積算光量 |
UV強度/積算光量 |
UV強度 |
測定単位 |
mW/cm² |
mJ/cm² |
mW/cu⇔mJ/cm² |
mW/cm² |
測定範囲 |
0〜1990 |
0〜1990 |
0〜9990 |
0〜1990 |
標準測定波長 |
365または254nm |
最大測定
ポイント |
1ポイント |
1ポイント |
1ポイント |
6ポイント |
測定精度 |
±(5%rdg+1dgt) |
通信機能 |
RS-232C方式 |
BCD入出力信号 |
BCD入出力信号 |
RS-232C方式 |
センサーヘッド |
専用石英センサーファイバー使用(SLG-1001) |
センサーアンプ
ボックス |
UVM-SB254、365 |
UVM-SB254、365 |
UVM-SB254JW、365JW |
UVM-SB254、365 |
電源入力 |
AC100V 50/60Hz 15W |
AC100V 50/60Hz 25W |
AC100V 50/60Hz 20W |
オプション |
各種バンドパスフィルター(220〜1000nmまで製作可能) |
受光レセプタクル(SRV型、SRH型、SRC型、SR90型)) |
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その他 (生産終了終了致しました) |
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微細な部品のUV接着に使用したいのですが、可能でしょうか? |
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弊社のUVFシリーズで多岐にわたるファイバーと各種レンズで対応可能です。ご相談ください。 |
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実験用サンプルに特定波長域の光を均一に与えたいのですが、可能でしょうか? |
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UVFシリーズ(微小径、高エネルギー)、
UVEシリーズ(80〜300oΦ、均一照射光)に特定波長
透過フィルター(Band Pass Filter)の組み合わせにて可能です。
お客様の必要UVエネルギー(mj/cu)と照射径により、ランプの出力を弊社で選定致します。 |
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複数台のUV装置の紫外線エネルギーを監視、管理したいのですが・・・・ |
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UVMシリーズのUVM−MPにて対応可です。
1台で最大UV装置6台の紫外線強度(mW/cu)を監視、モニタリング致します。
また、中継アンプボックス(UVM−SB)を取り付けることにより測定器とUV装置の距離を
最大10mまで離して操作することができます。 |
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シリコンウエハなどの微細加工の露光装置は対応できますか? |
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各メーカーのマスクアライナー装置用光源としても実績がございます。(UVEシリーズ)アライナー装置メーカーとタイアップして装置一式のご提案も致します。最近のナノインプリントリソグラフィの光インプリントにも対応しています。ご相談ください。 |
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